下一代光刻技术不包括（） - @$course.title@} - 自学考试一点通

多选题

中等难度

企业所得税筹划

👁️ 浏览量：1562

📅 更新时间：2025-03-05

⭐ 收藏数：278

试题题干

下一代光刻技术不包括（）

A

极紫外光刻技术

B

透明电子束光刻技术

C

角度限制投影电子束光刻技术

D

X射线光刻技术

参考答案

正确答案：

试题解析

下一代光刻技术( Next Generation Lithography,NGL),包括极紫外(EUV)光刻技术、离子束投影光刻技术( Ion Projection Lithography,IPL)、角度限制投影电子束光刻技术( SCALPEL)以及X射线光刻技术